Mikrosystemtechnik für Ingenieure

EUR 82,90

Wiley-VCH, 3. vollst. überarb. u. erw. Auflage 2005, 574 Seiten

Die dritte Auflage dieses überaus erfolgreichen Lehrbuchs, Standardwerk zur MST, wurde vor allem auf dem Gebiet der Si-Technik, Materialien und alternative Technologien stark erweitert und den Fortschritten in diesem sich rasant entwickelnden, interdisziplinären Gebiet angepasst.

Aus dem Inhalt:
Allgemeine Einführung in die Mikrostrukturtechnik
- Was ist Mikrostrukturtechnik?
- Von der Mikrostrukturtechnik zur Mikrosystemtechnik

Die Parallelen zur Mikroelektronik
- Fertigungskonzepte der Mikroelektronik
- Aufbau- und Verbindungstechnik
- Reinraumtechnik

Die Naturwissenschaftlichen Grundlagen der Mikrotechnik
- Ein Ausflug in die Quantenmechanik
- Kristalle und Kristallographie
- Materialien der Mikrotechnik
- Grundbegriffe der Elektrochemie und der galvanischen Abscheidung

Basistechnologien der Mikrotechnik
- Grundlagen der Vakuumtechnik
- Erzeugung von Dünnschichten
- Abtragen und Strukturieren von Dünnschichten
- Oberflächenanalyse

Lithographie
- Überblick und Historie
- Resists
- Strukturübertragung
- Maskenfertigung
- Strahlungsquellen

Die Silizium-Mikromechanik
- Mikromechanische Grundstrukturen
- Die Oberflächen-Mikrotechnik
- Anwendungsbeispiele

Das Liga-Verfahren
- Überblick
- Maskenherstellung
- Röntgentiefenlithographie
- Galvanik
- Abformung
- Varianten der LIGA-Technik
- Anwendungsbeispiele

Alternative Verfahren der Mikrostrukturierung
- Mechanische Mikrofertigung
- Laser-Ablation
- Ionenverfahren

Aufbau- und Verbindungstechniken (AVT)
- Hybridtechniken
- Kontaktierungstechniken
- Klebetechnik
- Anodisches Bonden
- Gehäusung

Systemtechnik
- Definition eines Mikrosystems
- Entwurf, Simulation und Test von Mikro-systemen
- Signalverarbeitung für Sensoren in Mikrosystemen
- Industrielle Konzepte der Mikrosystemfertigung

Anwendungen
- Allgemeine Meß- und Regeltechnik
- Optische Kommunikation
- Medizintechnik
- Ausblick

Erschienen: 2005
Autor: Menz/Mohr/Paul
Preis: EUR 82,90

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